中科仪冲刺北交所：硬核科创逐光行，中科院大基金双向护航
来源：
中国产经观察
日期：2026-01-13 17:44:50
点击：90316
中国产经观察消息：在科技创新的浪潮中，中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司（以下简称“中科仪”，证券代码：830852）凭借深厚技术底蕴与持续创新精神，稳步迈向北京证券交易所上市之路。
据北交所公告，2026年1月16日，公司将接受北交所上市委员会审核，这既是对过往成就的认可，更是对未来潜力的期许。本文将从公司概况、技术实力、市场表现、未来规划及上市核心价值等维度，剖析中科仪的北交所冲刺之路。
源自科研，铸就真空技术标杆
中科仪的起源可追溯到20世纪50年代创建的中国科学院下属专门从事真空科研仪器研制的事业单位。经过长达70年的持续发展，公司及其前身始终专注于真空装备这一“硬科技”领域，在洁净真空、超高真空领域形成了大量技术工艺积累，为干式真空泵和真空仪器设备两大业务板块的发展奠定了坚实基础。
招股书显示，作为国家高新技术企业，中科仪手握真空技术装备国家工程研究中心等三大国家级研发平台，累计承担13项国家级重大科研专项，斩获6项国家科技进步奖，包括特等奖1项、一等奖1项，核心技术实力获国家层面高度认可。
公司主营业务聚焦干式真空泵、真空科学仪器设备的研发、生产与销售，及相关技术服务。产品广泛应用于集成电路、光伏、科研等关键领域，其中干式真空泵成功打破国外长期垄断，实现进口替代，成为国内集成电路制造领域不可或缺的关键设备。依托“02专项”等国家级项目支持，其产品已满足14nm先进逻辑芯片及128层以上3DNAND存储器工艺需求，为我国半导体产业链自主可控筑牢基础。
创新驱动，引领行业技术变革
技术创新是中科仪的核心竞争力，通过自主研发形成了包括无油真空获得、精密加工技术在内的8大核心技术体系，这些技术均已实现大批量产业化应用，并达到国际先进水平。截至2025年6月30日，公司累计拥有发明专利100项，牵头或参与制定13项国家、行业及团体标准；研发投入占比连续多年保持在8%以上，2023-2024年研发投入合计达1.95亿元。
以干式真空泵为例，公司通过持续攻关，解决了抽速、能效、可靠性等核心难题，产品通过台积电、大连Intel、SK海力士等国际巨头测试验证。截至2026年1月7日，公司各类干式真空泵的出货量已累计超过4万台，其中集成电路领域出货量超3万台。根据市场预计数据测算，2024年公司干式真空泵在集成电路领域国内市占率约为12.72%，打破欧美及日本企业在国内市场的长期垄断。
在研发体系上，中科仪构建基础技术、应用技术、测试技术三大平台：应用技术平台积累1500余项生产工艺数据、28项产品应用工艺，可快速为逻辑芯片、存储芯片等不同制程的各类客户匹配干式真空泵解决方案；测试技术平台搭建了真空性能、电磁兼容性等9个专门实验室，形成专属测试标准与方法，能精准评价系统及关键零部件的性能与可靠性，保障产品稳定性和批量一致性。此外，为满足客户设备管理、成本控制等需求，公司自主研发故障诊断分析、控制互锁等技术，实现产品故障诊断、寿命预测及设备互锁保护，以此形成与国外竞品的差异化优势。
业绩稳健，客户覆盖全球核心领域
招股书显示，中科仪近年来经营业绩持续稳健增长。2022-2024年，营业收入从6.98亿元增至10.82亿元，复合增长率24.51%；扣除非经常性损益后归母净利润从6186.11万元增至8787.75万元，复合增长率19.19%。2025年预计营业收入12.41-12.81亿元，同比增长14.67%-18.37%，盈利能力稳步提升。
公司客户遍布全球，国内与各大头部晶圆厂、设备厂建立了长期合作。作为集成电路领域出货量最大的国产干式真空泵企业，公司是唯一在先进制程实现批量应用、唯一覆盖清洁/中等/苛刻全工艺的国产企业，2024年集成电路领域国内市占率约12.72%，有效保障了我国集成电路制造设备关键零部件的供应链安全。
股东筑基，中科院、大基金赋能
中科仪的发展壮大离不开优质股东的深度赋能，其股东背景兼具科研权威性与产业资源优势，成为公司冲击北交所、深耕高端装备领域的重要支撑。公司源于中国科学院下属事业单位，深厚的科研基因贯穿发展始终，与中国科学院体系内多家科研机构保持长期紧密的产学研合作，不仅持续获得前沿技术迭代支持，更能精准把握国家重大科研方向与产业政策导向，为核心技术研发与产品创新筑牢根基。
同时，国家集成电路产业投资基金等产业资本的加持，为中科仪注入了强劲的资本动力与产业资源。大基金作为聚焦集成电路产业链的国家级投资平台，其入股不仅体现了对中科仪在半导体关键设备领域技术实力与行业地位的高度认可，更将助力公司对接产业链上下游核心资源，加速技术产业化落地、市场份额拓展及高端人才引入。
中科院的科研背书与大基金的产业赋能形成强大合力，既保障了公司技术研发的前瞻性与稳定性，又为公司上市后的持续发展提供了坚实的资源保障，成为中科仪在高端真空装备领域持续突破、引领行业发展的重要底气。
战略清晰，募资加码核心业务
面对全球半导体产业链的重构与国内“双碳”战略的机遇，中科仪制定了清晰明确的未来发展规划。此次北交所上市，中科仪拟募集资金8.25亿元，主要用于干式真空泵产业化建设项目、高端半导体设备扩产及研发中心建设项目以及新一代干式真空泵及大抽速干式螺杆泵研发项目。
资本赋能，共筑产业升级新引擎
站在北交所上会的历史节点，中科仪的成长轨迹正是中国高端装备制造业崛起的缩影。从实验室技术到产业化应用，从进口替代到全球竞争，公司以“十年磨一剑”的定力突破技术壁垒，为半导体产业链安全筑牢根基。
北交所上市将为中科仪带来多重价值：一方面拓宽融资渠道，为研发创新与市场拓展提供资金支持；另一方面提升品牌公信力，助力赢得更多优质客户与合作机会。在科技创新与资本市场的双重赋能下，中科仪必将以更开放的姿态、更坚定的步伐，引领中国真空技术迈向世界之巅，为全球半导体产业链贡献中国智慧与中国方案。
编辑 | 王宇
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